???????? ?? ???? ???? ?????????? ??????? ??????? ??? ?????? ? ???? ???????? ???? ?????? ??? ????? . 
 ????? ????? ????? ?????? ???????? ??????? ???? ????? ???????? ? ???? ?? ????? ?? ???? ?????? ??? ? 
 ???? ???? ??? ????? / ???? ???? / ????? / ???? ????? ???? ???????? ??????? 
 ???? ?? ???? ????? ???? ???????? ??????? ? ??? ?? ??? ???? ?????? ??????? ? ??? ?????? ???? ??? 

 1 . ?????? ????? ( ?? ) 

 x-direction : 500-600 
 ? ??????? : 500-800 
 ? ??????? : 500-600 

 2 - ???? ???? 
 ????? ?????? ???? : renishaw rtlc-s 
 ????? ??? ??????? : ????? Vionic ????? ??? ??????? ? ?????? 0.5 / 0.1  μ  ? ? 
 ?????? ?????? ???? : rennishaw rgs20-s ????? 
 ?????? ??? ??????? : renishaw rh200 / tonic / quantic ????? 

 3 . ?????? ??? : 
 ???? ?????? ???? ???? . 
 ??????? ???? ????? ? ?????? ?????? . 
 IGUS ?? 

 4 . ????? ????? : 
 ????? ??????? ? ????? 620 / 720 ??? z-direction ?????? ???????? 
 SMC ????? ?????? ?????? ?  ??? ?? ??? ???? ????? ??????? ? ?? ????? ???? ???? ?????? ?????? ?????? ? ????? ????? . 

 5 - ????? 
 ????? ???????? : ????? ?????? ????? ? ?????? ????? 
 ????? : ????? ????? ??????? ???? ??????? ???????? ? ?????? ?????? . 

 6 - ????? ???? : 
 ?????? ?? ???????? ?????? ? 
 ????? ???? ?? ??? ??????? 
 ????? ???? 
 ??????? : pl4t / pl13u ?????? ???????? 
 ?????? : SP25 / PH20 ????? ?????? ???? ????